氟化氢在芯片生产中起什么作用?
发布时间:2024-01-13 04:53 作者:admin 来源:未知 点击: 标签: 芯片 什么 在 起 作用 生产中 氟化氢
氟化氢在集成电路芯片生产中,作为刻蚀工序中的腐蚀剂。
芯片生中有两大重要的工序,首先是用光刻机将电路图转印到涂满感光胶的硅片上,然后再用刻蚀机将硅片上不需要的部分去掉,只留下有用的线条。这个去掉硅片上的无用部分的过程叫“刻蚀”。刻蚀有干刻和湿刻两种方法,其中湿刻是目前最成熟也是应用最广泛的刻蚀工艺。氟化氢就是在湿法刻蚀工艺中用作腐蚀剂的,也就是用氟化氢将硅片上不需要的部分腐蚀掉,因此被称为“刻蚀”。